真空炉分为外热式和内热式，内热式真空热处理炉的结构内热式真空热处理炉是将整个加热装置及欲处理的工件均放在真空容器内，没有炉罐，整个炉壳就是一个真空容器。炉中安设电热元件、隔热屏、炉床、风扇、传送机构和其他构件等。通过电热元件的热辐射或充入气体气流循环加热工件，炉壳多采用双层水冷式设计，因而也可称作冷壁式真空炉。电热元件多位于加热室中部，围绕工件有效加热区设计安置，外部是金属辐射屏或非金属隔热屏结构，炉床安装在加热室下部，风扇结构所安设在冷却室，也有安设于加热室的一端，上部或下部，并且和热交换器装置组成强制气流循环的加热和冷却系统。传递机构多设在冷却室，有些和炉外料筐支架相连，根据用途和某些特殊要求采取不同型式结构。加热电极通过炉壳引入，设计时要考虑加热电极的水冷和密封结构，以保证其良好的工作特性。典型的内热式真空热处理炉的结构示意图下图所示。目前内热式真空热处理炉形式多样，按其外形及结构可分为立式、卧式、单室、双室和三室。工作冷却方式分为自冷、负压气冷、负压油冷和加压气冷（2x10³pa）、高压气冷（2x10⁵pa）及超高压气冷（20x10⁵pa）等炉型。按照热处理工艺科分为淬火炉和回火炉。有单功能的，也有多功能的。

优点：

1、可以制造大型高温炉，而不受炉罐限制；

2、加热和冷却速度快，生产效率高；

3、因不采用耐热炉罐，温度范围广，最高加热温度可达到2200℃或更高；

4.易于实现全过程的自动化，工作中无污染，环境好，操作安全；

5、炉子热惯性小，加热和冷却工序循环短，热效率高，生产效率也高；

6、炉温均匀性好，可达±5℃，工件加热均匀，变形微小，产品质量好；

7、加热期间不需要保护气氛，除非为防止金属挥发或在低温区提高加热速度和炉温均匀性通入的气体外，一般充入气体多采用N₂，Ar或Ne气等。

缺点：

1、内热式真空炉内结构复杂，炉子造价高，电气绝缘性要求高；

2、与外热式真空炉相比，炉内容积大，各种构件表面吸附大量气体，需配大功率抽气系统；

3、考虑真空放电和电气绝缘性，要低电压大电流供电，需配套系统。